頂點光電子商城2022年9月8消息：近日，上海復享光學股份有限公司完成了針對刻蝕應用場景的光譜儀—ZURO系列產品的研發與量產導入。
ZURO系列光譜儀匹配半導體行業標準，滿足針對金屬刻蝕、單多晶硅刻蝕、化合物刻蝕及高速清洗等多個應用場景需求，具有信號精準、性能長期穩定、Fab生產環境適應等特點。該系列產品具備高靈敏、高信噪比等優勢，單幀采集最大動態范圍突破40000:1，優于同類國外產品，能夠有效提取深孔和多晶硅刻蝕過程中的弱信號。
此外，為ZURO系列光譜儀配備的軟件，ideaEPD是一款由復享光學深入客戶應用開發的Fab工藝專用軟件，支持自定義終點算法、工藝終點分析、高速采樣監控、刻蝕深度監控等功能，能實現多達10臺腔體的同時監控。
復享光學已完成ZURO系列產品的國產驗證與量產準備，能為客戶進行差異化的定制開發，解決頭部客戶的關鍵光學零部件供應安全問題。目前，復享光學的多系列光譜模組產品已經獲得多家半導體頭部客戶的驗證、生產導入及小批量訂單。隨著對需求響應的不斷深入和工程參數的持續優化，復享光學從起量階段逐步進入到放量階段，以光譜硬科技助力產業發展。
上海復享光學股份有限公司于2011年6月29日在上海市工商局登記成立。法定代表人殷海瑋，公司經營范圍包括光學科技，儀器設備、新材料、檢測技術、醫藥等。本次發布為集成電路產業提供了面向6、8、12寸制程刻蝕工藝的光譜檢測解決方案。
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