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        頂點光電子商城2022年5月26日消息：韓國設備廠商Auros Technology公司開創了8英寸的晶圓套殼對準測量設備，為韓國公司首創，現今，已經從多家韓國和日本芯片制造商獲得了8英寸晶圓overlay測量設備的訂單。Auros Technology的OL-100n是對原來生產12英寸晶圓的設備進行改進后生產的，可支持6英寸和8英寸晶圓。

        其8英寸OL-100n正在由多達5家公司進行評估。隨著8英寸SiC和GaN芯片需求不斷增長，第三代半導體材料主要是以SiC GaN為主，全球對8英寸晶圓的有強勁的需求。

         據了解，在晶圓制造過程中，設計好的電路圖要先刻在晶圓上，然后再對晶圓進行切割和封裝。overlay測量設備用于檢查晶圓上的電路圖案是否正確對齊，將這一過程直接影響晶圓制造的成品率。

        其OL-100n設備可以對化學物質做出靈活反應并檢測電路團，還具備測量硅片上的氧化物和鋁膜的功能。并被韓國研究機構用于芯片研究。該設備正被多國家如中國臺灣、韓國等工廠采用。